美国厂面对“抢水大战”？台积电：规划盖再生水厂

日前外媒报道称，台积电美国新厂坐落的凤凰城北部天气干燥。当地官员估计，若台积电在该处建满6座晶圆厂，每年可能需要多达4933万立方公尺的水，足够供应16万户家庭，而当地水情严峻。由此看来，台积电与也在附近设厂的竞争对手英特尔，除了要抢市场，可能还得抢水。

对此，据台媒中央社报道，台积电表示，公司将建造完备的废水处理及水资源回收系统，积极降低用水量及废水排放量，致力提升整体水资源使用效率。台积电指出，无法回收使用的废水，通过系统进行最终废水处理，废水排放浓度优于亚利桑那州政府要求的放流水标准。台积电表示，除进行多层次的水资源回收与再利用处理，在当地也有建设再生水厂计划。

据悉，半导体产业是名副其实的“水老虎”，在制造过程中需要依赖大量的水源，尤其是半导体制程需要使用超纯水（Ultrapure water），而制作超纯水的过程要使用几倍的自来水，用水量相当惊人。且为了提高12英寸晶圆厂的制程良率，以往是每25片晶圆集中清洗，后来就改成一片片单独清洗，大幅提高良率。